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      新型超高分辨冷場發射掃描電鏡

      型 號Hitachi SU9000

      產品時間2020-03-06

      所屬分類掃描電子顯微鏡(電鏡)

      訪問量691

      產品描述:日立2011年新推出了SU9000新型超高分辨冷場發射掃描電鏡,達到掃描電鏡高二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進的真空系統和電子光學系統,不僅分辨率性能明顯提升,而且作為一款冷場發射掃描電鏡甚至不需要傳統意義上的Flashing操作,可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。
      產品概述

      日立2011年新推出了SU9000新型超高分辨冷場發射掃描電鏡,達到掃描電鏡高二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進的真空系統和電子光學系統,不僅分辨率性能明顯提升,而且作為一款冷場發射掃描電鏡甚至不需要傳統意義上的Flashing操作,可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。


      產品特點:

      1. 新型電子光學系統設計達到掃描電鏡高分辨率:二次電子0.4nm(30KV),STEM 0.34nm(30KV)。

      2. Hitachi專li設計的E×B系統,可以自由控制SE和BSE檢測信號。

      3. 全新真空技術設計使得SU9000冷場發射電子束具有超穩定和高亮度特點。

      4. 全新物鏡設計顯著提高低加速電壓條件下的圖像分辨率。

      5. STEM的明場像能夠調整信號檢測角度,明場像、暗場像和二次電子圖像可以同時顯示并拍攝照片。

      6. 與FIB兼容的側插樣品桿提高更換樣品效率和高倍率圖像觀察效率。

       

      新型超高分辨冷場發射掃描電鏡技術參數

      項目技術指標
      二次電子分辨率0.4nm (加速電壓30kV,放大倍率80萬倍)
      1.2nm (加速電壓1kV,放大倍率25萬倍)
      STEM分辨率0.34nm(加速電壓30kV,晶格象)
      觀測倍率底片輸出顯示器輸出
      LM模式80~10,000x220~25,000x
      HM模式800~3,000,000x2,200~8,000,000x
      樣品臺側插式樣品桿
      樣品移動行程X±4.0mm
      Y±2.0mm
      Z±0.3mm
      T±40度
      標準樣品臺平面樣品臺:5.0mm×9.5mm×3.5mmH
      截面樣品臺:2.0mm×6.0mm×5.0mmH
      樣品臺截面樣品臺:2.0mm×12.0mm×6.0mmH
      雙傾截面樣品臺:0.8mm×8.5mm×3.5mmH
      信號檢測器二次電子探測器
      TOP 探測器(選配)
      BF/DF 雙STEM探測器(選配)

       

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